高純度99.8%チタングレード7ラウンドスパッタリングターゲット、コーティング工場向けチタン合金ターゲットサプライヤー
製品パラメータ
| 製品名 | PVDコーティング装置用チタンターゲット |
| 学年 | チタン（Gr1、Gr2、Gr5、Gr7、Gr12）合金ターゲット: Ti-Al、Ti-Cr、Ti-Zr など |
| 起源 | 中国陝西省宝鶏市 |
| チタン含有量 | 99.5%以上 |
| 不純物含有量 | <0.02 (%) |
| 密度 | 4.51または4.50 g/cm3 |
| 標準 | ASTM B381; ASTM F67、ASTM F136 |
| サイズ | 1. 円形ターゲット：直径30～2000mm、厚さ3.0mm～300mm。2. プレートターゲット：長さ：200～500mm、幅：100～230mm、厚さ：3～40mm。3. チューブ対象：直径：30～200mm、厚さ：5～20mm、長さ：500～2000mm。4. カスタマイズ可能です |
| 技術 | 鍛造およびCNC加工 |
| 応用 | 半導体分離、薄膜コーティング材料、ストレージ電極コーティング、スパッタリングコーティング、表面コーティング、ガラスコーティング産業。 |
チタンターゲットの化学的要件
| ASTM B265 | GB/T 3620.1 | JIS H4600 | 元素含有量（重量％） | ||||||
| N | C | H | Fe | O | その他 | ||||
| 純チタン | 1年生 | TA1 | クラス1 | 0.03 | 0.08 | 0.015 | 0.20 | 0.18 | / |
| 2年生 | TA2 | クラス2 | 0.03 | 0.08 | 0.015 | 0.30 | 0.25 | / | |
| チタン合金 | 5年生 | TC4Ti-6Al-4V | クラス60 | 0.05 | 0.08 | 0.015 | 0.40 | 0.2 | Al:5.5-6.75 V:3.5-4.5 |
| 7年生 | TA9 | クラス12 | 0.03 | 0.08 | 0.015 | 0.30 | 0.25 | Pd:0.12-0.25 | |
| 12年生 | TA10 | クラス60E | 0.03 | 0.08 | 0.015 | 0.30 | 0.25 | Mo:0.2-0.4 Ni:0.6-0.9 | |
室温における縦方向の機械的特性
| 学年 | 抗張力Rm/MPa(>=) | 降伏強度Rp0.2(MPa) | 伸長A4D（％） | 面積の縮小Z(%) |
| 1年生 | 240 | 140 | 24 | 30 |
| グレード2 | 400 | 275 | 20 | 30 |
| 5年生 | 895 | 825 | 10 | 25 |
| 7年生 | 370 | 250 | 20 | 25 |
| 12年生 | 485 | 345 | 18 | 25 |
チタンスパッタリングターゲット
チタンスパッタリングターゲットの一般的なサイズ：Φ100*40、Φ98*40、Φ95*45、Φ90*40、Φ85*35、Φ65*40など。
お客様のご要望や図面に基づいてカスタマイズすることも可能です。
目標要件：高純度、均一な結晶粒、良好な緻密性。
純度：99.5%、99.95%、99.98%、99.995%。
チタンターゲットの製造工程
チタンスポンジ --- チタンインゴットへの溶解 --- 試験 --- インゴットの切断 --- 鍛造 --- 圧延 --- 剥離 --- 矯正 --- 超音波探傷 --- 梱包
チタンターゲットの特徴
1. 低密度かつ高強度
2. 優れた耐食性
3. 熱の影響に対する優れた耐性
4. 極低温特性に優れたベアリング
5. 非磁性で無毒
6. 優れた熱特性
7. 低い弾性率
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