タンタルターゲット
製品パラメータ
| 製品名：高純度タンタルターゲット 純タンタルターゲット | |
| 材料 | タンタル |
| 純度 | 99.95% 分または 99.99% 分 |
| 色 | 光沢のある銀色の金属で、耐腐食性に優れています。 |
| ほかの名前 | ターゲット |
| 標準 | ASTM B 708 |
| サイズ | 直径 >10mm * 厚さ >0.1mm |
| 形 | 平面 |
| MOQ | 5個 |
| 納期 | 7日 |
| 使用済み | スパッタリング成膜装置 |
表 1: 化学組成
| 化学 （％） | |||||||||||||
| 指定 | 主成分 | 不純物最大値 | |||||||||||
| Ta | Nb | Fe | Si | Ni | W | Mo | Ti | Nb | O | C | H | N | |
| Ta1 | 残り | 0.004 | 0.003 | 0.002 | 0.004 | 0.006 | 0.002 | 0.03 | 0.015 | 0.004 | 0.0015 | 0.002 | |
| Ta2 | 残り | 0.01 | 0.01 | 0.005 | 0.02 | 0.02 | 0.005 | 0.08 | 0.02 | 0.01 | 0.0015 | 0.01 | |
表 2: 機械的要件 (焼きなまし状態)
| グレードとサイズ | 焼き鈍し | ||
| 抗張力最小、psi (MPa) | 降伏強さ最小、psi (MPa)(2%) | 伸びの最小値、% (ゲージ長さ 1 インチ) | |
| シート、フォイル。およびボード (RO5200、RO5400) 厚さ <0.060 インチ (1.524mm)厚さ≧0.060インチ(1.524mm) | 30000 (207) | 20000 (138) | 20 |
| 25000 (172) | 15000 (103) | 30 | |
| Ta-10W(RO5255)シート、フォイル。そしてボード | 70000 (482) | 60000 (414) | 15 |
| 70000 (482) | 55000 (379) | 20 | |
| Ta-2.5W(RO5252)厚さ<0.125インチ (3.175mm)厚さ≧0.125インチ (3.175mm) | 40000 (276) | 30000 (207) | 20 |
| 40000 (276) | 22000 (152) | 25 | |
| Ta-40Nb (RO5240)厚さ<0.060インチ(1.524mm) | 40000 (276) | 20000 (138) | 25 |
| 厚さ>0.060インチ(1.524mm) | 35000 (241) | 15000 (103) | 25 |
サイズと純度
直径：直径(50~400)mm
厚さ:(3~28mm)
グレード：RO5200、RO 5400、RO5252(Ta-2.5W)、RO5255(Ta-10W)
純度: >=99.95%、>=99.99%
私たちの利点
再結晶：95%以上 結晶粒径：40μm以上 表面粗さ：Ra0.4以下 平面度：0.1mmまたは0.10%以下公差: 直径公差 +/- 0.254
応用
タンタルターゲットは、電極材料および表面処理材料として、液晶ディスプレイ（LCD）のコーティング産業、耐熱腐食性、高導電性などに広く使用されています。
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