高純度99.8%チタングレード7ラウンドスパッタリングターゲットTi合金ターゲットコーティング工場サプライヤー
製品パラメータ
| 製品名 | PVDコーティング機用チタンターゲット |
| 学年 | チタン（Gr1、Gr2、Gr5、Gr7、GR12）合金ターゲット: Ti-Al、Ti-Cr、Ti-Zr など |
| 起源 | 中国陝西省宝鶏市 |
| チタン含有量 | ≥99.5（％） |
| 不純物含有量 | <0.02 (%) |
| 密度 | 4.51または4.50 g/cm3 |
| 標準 | ASTM B381、ASTM F67、ASTM F136 |
| サイズ | 1. 円形ターゲット：Ø30～2000mm、厚さ3.0mm～300mm。2. プレートサイズ：長さ：200〜500mm、幅：100〜230mm、厚さ：3〜40mm。3. チューブターゲット：直径：30〜200mm、厚さ：5〜20mm、長さ：500〜2000mm。4. カスタマイズ可能 |
| 技術 | 鍛造およびCNC機械加工 |
| 応用 | 半導体分離、フィルムコーティング材料、ストレージ電極コーティング、スパッタリングコーティング、表面コーティング、ガラスコーティング産業。 |
チタンターゲットの化学的要件
| ASTM B265 | GB/T 3620.1 | JIS H4600 | 元素含有量(≤wt%) | ||||||
| N | C | H | Fe | O | その他 | ||||
| チタンピュア | 1年生 | TA1 | クラス1 | 0.03 | 0.08 | 0.015 | 0.20 | 0.18 | / |
| 2年生 | TA2 | クラス2 | 0.03 | 0.08 | 0.015 | 0.30 | 0.25 | / | |
| チタン合金 | 5年生 | TC4Ti-6Al-4V | クラス60 | 0.05 | 0.08 | 0.015 | 0.40 | 0.2 | アル:5.5-6.75 V:3.5-4.5 |
| 7年生 | TA9 | クラス12 | 0.03 | 0.08 | 0.015 | 0.30 | 0.25 | パラジウム：0.12～0.25 | |
| 12年生 | TA10 | クラス60E | 0.03 | 0.08 | 0.015 | 0.30 | 0.25 | モリブデン:0.2-0.4 ニッケル:0.6-0.9 | |
室温での縦方向の機械的性質
| 学年 | 抗張力Rm/MPa(>=) | 降伏強度Rp0.2(MPa) | 伸長A4D(%) | 面積の縮小Z(%) |
| Gr1 | 240 | 140 | 24 | 30 |
| Gr2 | 400 | 275 | 20 | 30 |
| G5 | 895 | 825 | 10 | 25 |
| Gr7 | 370 | 250 | 20 | 25 |
| Gr12 | 485 | 345 | 18 | 25 |
チタンスパッタリングターゲット
チタンスパッタターゲットの一般的なサイズ：Φ100*40、Φ98*40、Φ95*45、Φ90*40、Φ85*35、Φ65*40など。
顧客の要求や図面に応じてカスタマイズすることもできます
目標要件: 高純度、均一な結晶粒、良好な緻密性。
純度: 99.5%、99.95%、99.98%、99.995%。
チタンターゲット製造プロセス
スポンジチタン --- チタンインゴットに精錬 --- 試験 --- インゴットの切断 --- 鍛造 --- 圧延 --- 剥離 --- 矯正 --- 超音波探傷 --- 梱包
チタンターゲットの特徴
1. 低密度と高強度
2. 優れた耐腐食性
3. 熱の影響に対する優れた耐性
4. 極低温特性に優れたベアリング
5. 非磁性、無毒性
6. 優れた熱特性
7. 低弾性率
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