高純度 99.8% チタングレード 7 ラウンドスパッタリングターゲット ti 合金ターゲットコーティング工場サプライヤー
製品パラメータ
| 製品名 | pvdコーティング機用チタンターゲット |
| 学年 | チタン（Gr1、Gr2、Gr5、Gr7、GR12）合金ターゲット: Ti-Al、Ti-Cr、Ti-Zr など |
| 起源 | 中国陝西省宝鶏市 |
| チタン含有量 | ≥99.5 (%) |
| 不純物含有量 | <0.02 (%) |
| 密度 | 4.51 または 4.50 g/cm3 |
| 標準 | ASTM B381; ASTM F67、ASTM F136 |
| サイズ | 1. 円形ターゲット: Ø30 ～ 2000mm、厚さ 3.0mm ～ 300mm。2. プレートターゲット: 長さ: 200-500mm 幅:100-230mm 厚さ: 3--40mm;3. チューブターゲット: 直径: 30-200mm 厚さ: 5-20mm 長さ: 500-2000mm;4.カスタマイズ可能です |
| 技術 | 鍛造およびCNC機械加工 |
| 応用 | 半導体分離、フィルムコーティング材料、蓄積電極コーティング、スパッタリングコーティング、表面コーティング、ガラスコーティング産業。 |
チタンターゲットの化学的要件
| ASTM B265 | GB/T 3620.1 | JIS H4600 | 元素含有量(≤wt%) | ||||||
| N | C | H | Fe | O | その他 | ||||
| チタンピュア | 1年生 | TA1 | クラス1 | 0.03 | 0.08 | 0.015 | 0.20 | 0.18 | / |
| 2級 | TA2 | クラス2 | 0.03 | 0.08 | 0.015 | 0.30 | 0.25 | / | |
| チタン合金 | Gr.5 | TC4Ti-6Al-4V | クラス60 | 0.05 | 0.08 | 0.015 | 0.40 | 0.2 | アル:5.5-6.75 V:3.5-4.5 |
| Gr.7 | TA9 | クラス12 | 0.03 | 0.08 | 0.015 | 0.30 | 0.25 | Pd:0.12-0.25 | |
| Gr.12 | TA10 | クラス60E | 0.03 | 0.08 | 0.015 | 0.30 | 0.25 | Mo:0.2-0.4 Ni:0.6-0.9 | |
室温での長手方向の機械的特性
| 学年 | 抗張力Rm/MPa(>=) | 降伏強さRp0.2(MPa) | 伸長A4D(%) | 面積の削減Z(%) |
| 1年生 | 240 | 140 | 24 | 30 |
| 2年生 | 400 | 275 | 20 | 30 |
| グループ5 | 895 | 825 | 10 | 25 |
| 7年生 | 370 | 250 | 20 | 25 |
| 12 年生 | 485 | 345 | 18 | 25 |
チタンスパッタリングターゲット
チタンスパッタターゲットの一般的なサイズ: Φ100 * 40、Φ98 * 40、Φ95 * 45、Φ90 * 40、Φ85 * 35、Φ65 * 40など。
顧客の要求や図面に応じてカスタマイズすることもできます
目標とする要件：高純度、均一な結晶粒、良好な緻密性。
純度：99.5%、99.95%、99.98%、99.995%。
チタンターゲットの製造工程
スポンジチタン --- チタンインゴットへの製錬 --- 検査 --- インゴットの切断 --- 鍛造 --- 圧延 --- 剥離 --- 矯正 --- 超音波探傷 --- 梱包
チタンターゲットの特長
1. 低密度かつ高スペック強度
2. 優れた耐食性
3. 熱影響に対する良好な耐性
4. 優れた極低温特性への耐性
5. 非磁性、非毒性
6. 優れた熱特性
7. 低い弾性率
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