高純粋な99.8%チタングレード7ラウンドスパッタリングターゲットTI合金ターゲットコーティングファクトリーサプライヤー
製品パラメーター
製品名 | PVDコーティングマシンのチタンターゲット |
学年 | チタン(GR1、GR2、GR5、GR7、GR12)合金ターゲット:Ti-Al、Ti-Cr、Ti-Zrなど |
起源 | Baoji City Shaanxi Province China |
チタン含有量 | ≥99.5(%) |
不純物の内容 | <0.02(%) |
密度 | 4.51または4.50 g/cm3 |
標準 | ASTM B381; ASTM F67、ASTM F136 |
サイズ | 1。ラウンドターゲット:Ø30--2000mm、厚さ3.0mm - 300mm;2。プレートタージ:長さ:200-500mm幅:厚さ100-230mm:3--40mm;3。チューブターゲット:DIA:厚さ30-200mm:5-20mmの長さ:500〜2000mm;4。カスタマイズが利用可能です |
技術 | 鍛造およびCNC機械加工 |
応用 | 半導体分離、フィルムコーティング材料、貯蔵電極コーティング、スパッタリングコーティング、表面コーティング、ガラスコーティング産業。 |
チタンターゲットの化学的要件
ASTM B265 | GB/T 3620.1 | JIS H4600 | エレメンタルコンテンツ(≤wt%) | ||||||
N | C | H | Fe | O | その他 | ||||
チタンピュア | GR.1 | TA1 | クラス1 | 0.03 | 0.08 | 0.015 | 0.20 | 0.18 | / |
Gr.2 | TA2 | クラス2 | 0.03 | 0.08 | 0.015 | 0.30 | 0.25 | / | |
チタン合金 | GR.5 | TC4TI-6AL-4V | Class60 | 0.05 | 0.08 | 0.015 | 0.40 | 0.2 | AL:5.5-6.75 V:3.5-4.5 |
GR.7 | TA9 | Class12 | 0.03 | 0.08 | 0.015 | 0.30 | 0.25 | PD:0.12-0.25 | |
GR.12 | TA10 | class60e | 0.03 | 0.08 | 0.015 | 0.30 | 0.25 | MO:0.2-0.4 NI:0.6-0.9 |
室温での縦方向の機械的特性
学年 | 抗張力RM/MPA(> =) | 降伏強度RP0.2(MPA) | 伸長A4D(%) | 面積の削減z(%) |
GR1 | 240 | 140 | 24 | 30 |
GR2 | 400 | 275 | 20 | 30 |
GR5 | 895 | 825 | 10 | 25 |
GR7 | 370 | 250 | 20 | 25 |
GR12 | 485 | 345 | 18 | 25 |
チタンスパッタリングターゲット
チタンスパッタターゲットの共通サイズ:φ100*40、φ98*40、φ95*45、φ90*40、φ85*35、φ65*40など
また、顧客のリクエストや図面に従ってカスタマイズすることもできます
ターゲットの要件:高純度、均一な結晶粒、および良好なコンパクトさ。
純度:99.5%、99.95%、99.98%、99.995%。
チタンターゲット生産プロセス
チタンスポンジ---チタンインゴットに精錬---テスト---インゴットの切断---鍛造---ローリング---皮をむき---矯正---超音波欠陥検出---パッキング
チタンターゲット機能
1。低密度と高仕様強度
2。優れた腐食抵抗
3。熱の影響に対する良好な抵抗
4。極低温の特性への優れたベアリング
5。非磁性および非毒性
6。良好な熱特性
7。弾力性の低い弾性率