タンタルターゲット
製品パラメーター
製品名:高純度タンタルターゲット純粋なタンタルターゲット | |
材料 | タンタル |
純度 | 99.95%minまたは99.99%min |
色 | 腐食に対して非常に耐性のある光沢のある銀色の金属。 |
その他の名前 | TAターゲット |
標準 | ASTM B 708 |
サイズ | DIA> 10mm *厚さ> 0.1mm |
形 | 平面 |
Moq | 5pcs |
納期 | 7日 |
使用済み | スパッタリングコーティングマシン |
表1:化学組成
化学 (%) | |||||||||||||
指定 | 主要なコンポーネント | 不純物マックスミウム | |||||||||||
Ta | Nb | Fe | Si | Ni | W | Mo | Ti | Nb | O | C | H | N | |
TA1 | 残り | 0.004 | 0.003 | 0.002 | 0.004 | 0.006 | 0.002 | 0.03 | 0.015 | 0.004 | 0.0015 | 0.002 | |
TA2 | 残り | 0.01 | 0.01 | 0.005 | 0.02 | 0.02 | 0.005 | 0.08 | 0.02 | 0.01 | 0.0015 | 0.01 |
表2:機械的要件(アニール条件)
グレードとサイズ | アニール | ||
抗張力min、psi(mpa) | 降伏強度min、psi(mpa)(2%) | 伸長最小、%(1インチゲージの長さ) | |
シート、フォイル。ボード(RO5200、RO5400)厚さ<0.060 "(1.524mm)厚さ0.060 "(1.524mm) | 30000(207) | 20000(138) | 20 |
25000(172) | 15000(103) | 30 | |
TA-10W(RO5255)シート、フォイル。とボード | 70000(482) | 60000(414) | 15 |
70000(482) | 55000(379) | 20 | |
TA-2.5W(RO5252)厚さ<0.125 "(3.175mm)厚さ0.125 "(3.175mm) | 40000(276) | 30000(207) | 20 |
40000(276) | 22000(152) | 25 | |
TA-40NB(RO5240)厚さ<0.060 "(1.524mm) | 40000(276) | 20000(138) | 25 |
厚さ> 0.060 "(1.524mm) | 35000(241) | 15000(103) | 25 |
サイズと純度
直径:DIA(50〜400)mm
厚さ:(3〜28mm)
グレード:RO5200、RO 5400、RO5252(TA-2.5W)、RO5255(TA-10W)
純度:> = 99.95%、> = 99.99%
私たちの利点
再結晶:95%最小粒子サイズ:最小40μm表面粗さ:RA 0.4最大平ら:0.1mmまたは0.10%最大。耐性:直径の許容範囲+/- 0.254
応用
Tantalumターゲットは、電極材料および表面工学材料として、液晶ディスプレイ(LCD)、熱耐性腐食、高導電率のコーティング業界で広く使用されています。
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