タンタルターゲット
製品パラメータ
| 製品名：高純度タンタルターゲット 純タンタルターゲット | |
| 材料 | タンタル |
| 純度 | 99.95%以上または99.99%以上 |
| 色 | 腐食に対して非常に耐性のある、光沢のある銀色の金属。 |
| 別名 | Taターゲット |
| 標準 | ASTM B 708 |
| サイズ | 直径 >10mm * 厚さ >0.1mm |
| 形 | 平面 |
| 最小注文数量 | 5個 |
| 納期 | 7日間 |
| 使用済み | スパッタリングコーティング機 |
表1:化学組成
| 化学 （％） | |||||||||||||
| 指定 | 主成分 | 不純物最大 | |||||||||||
| Ta | Nb | Fe | Si | Ni | W | Mo | Ti | Nb | O | C | H | N | |
| タ1 | 残り | 0.004 | 0.003 | 0.002 | 0.004 | 0.006 | 0.002 | 0.03 | 0.015 | 0.004 | 0.0015 | 0.002 | |
| タ2 | 残り | 0.01 | 0.01 | 0.005 | 0.02 | 0.02 | 0.005 | 0.08 | 0.02 | 0.01 | 0.0015 | 0.01 | |
表2: 機械的要件（焼鈍状態）
| グレードとサイズ | 焼きなまし | ||
| 抗張力最小、psi (MPa) | 降伏強度 min、psi (MPa)(2%) | 伸び最小、%（1インチゲージ長さ） | |
| シート、箔、ボード（RO5200、RO5400）厚さ<0.060インチ（1.524mm）厚さ≥0.060インチ(1.524mm) | 30000 (207) | 20000 (138) | 20 |
| 25000 (172) | 15000 (103) | 30 | |
| Ta-10W（RO5255）シート、ホイル、ボード | 70000 (482) | 60000 (414) | 15 |
| 70000 (482) | 55000 (379) | 20 | |
| Ta-2.5W (RO5252)厚さ<0.125インチ (3.175mm)厚さ≥0.125インチ (3.175mm) | 40000 (276) | 30000 (207) | 20 |
| 40000 (276) | 22000 (152) | 25 | |
| Ta-40Nb（RO5240）厚さ<0.060インチ(1.524mm) | 40000 (276) | 20000 (138) | 25 |
| 厚さ>0.060インチ(1.524mm) | 35000 (241) | 15000 (103) | 25 |
サイズと純度
直径: 直径(50~400)mm
厚さ: (3~28mm)
グレード：RO5200、RO 5400、RO5252(Ta-2.5W)、RO5255(Ta-10W)
純度: >=99.95%、>=99.99%
当社の強み
再結晶率：95％以上 粒径：40μm以上 表面粗さ：Ra0.4以下 平坦度：0.1mmまたは0.10％以下 許容差：直径公差+/-0.254
応用
タンタルターゲットは、電極材料や表面エンジニアリング材料として、液晶ディスプレイ（LCD）のコーティング業界で、耐熱腐食性、高導電性などの用途に広く使用されています。
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